型號: | share |
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品牌: | share |
原產地: | 中國 |
類別: | 工業設備 / 電子電氣產品製造設備 |
標籤︰ | 青島擴散爐 , 擴散爐 , 爐體 |
單價: |
¥650000
/ 台
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最少訂量: | 1 台 |
產品特點:
◆主機為水平一至三管爐系統構架,獨立完成不同的工藝或相同工藝
◆儀表控制系統,對爐溫、氣體流量、閘門等動作進行自動控制
◆關鍵部件均採用進口,確保設備的高可靠性
◆控溫精度高,溫區控溫穩定性好;
◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能
◆高質量的加熱爐體,確保恆溫區的高穩定性及長壽命
擴散爐主要技術指標
1、工藝說明
1.1氧化:干氧工藝,濕氧工藝(去離子水)
1.2擴散:硼擴、磷擴(液態源、固態源等)
1.3合金、退火等工藝
2、系統組成:主機(加熱體、石英/SiC管、功率組件等)、淨化工作台、氣路氣源系統(氣源櫃)、儀表控系統等組成
3、控制方式:手動送片/自動送片
4、擴散爐配置(可選):
4.1儀表控制/觸摸屏控制
4.2工藝管(水平結構):1-3管
4.3工藝規格:2~6英吋晶圓或125mm×125mm、156mm×156mm太陽能電池片(工藝腔體為石英或碳化硅)
4.4恆溫區長度:1100mm/800mm/600mm/450mm
4.5晶圓裝載:懸臂式,剛玉/碳化硅杆,碳化硅槳
4.6工作台:有淨化/無淨化
5、擴散爐主要技術參數:
5.1工作溫度:200~1300℃
5.2加熱體控制點:3/5點
5.3爐體恆溫區:450mm/600mm/800mm/1100mm
5.4恆溫區精度:>800℃/±0.5℃ ,<800℃/±1℃
5.5單點溫度穩定性:600~1300℃/ ±0.5℃/24h
5.6最大可控升溫速度:15℃/min
5.7最大降溫速度:5℃/min(900~1300℃)
5.8供電:三相四線,380VAC/50HZ
青島賽爾微電子有限公司 | |
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國家/地區︰ | 山东省青岛市 |
經營性質︰ | 生產商 |
聯繫電話︰ | 18866268611 |
聯繫人︰ | 時寶斌 (經理) |
最後上線︰ | 2019/09/11 |