德國ATV真空回流焊接系統

型號：	SRO704/706
品牌：	ATV
原產地：	德國
類別：	電子、電力 / 電子元器件 / 集成電路
標籤︰	真空燒結 , 真空共晶 , 共晶焊接
單價：	-
最少訂量：	1 件

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產品描述

ATV公司于1972年成立于德國慕尼黑，業務專注于真空熱處理工藝設備，主要應用在混合電路、半導體和表面貼裝領域。
完美的焊接系統，帶快速退火功能的焊接回流爐(SRO)，是一個多用途“冷壁”工藝焊爐。SRO是R&D，工藝研發，由低至高產能生產的理想選擇。全自動生產能力可有多種方式實現：與粘片機在線集成、與粘片機系統集成、盒對盒晶片傳送或帶機器人系統的襯底傳送。主要應用於無缺陷焊接和產生完美的無助焊劑焊接，如IGBT封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、MEMS及真空封裝。

1. 最高控溫為450℃(更高可選)滿足所有軟釬焊工藝要求
2. 快速精確溫度控制
3. 可編程工藝過程控制
4. 氦氣漏率5×10^-9mbarL/s,氧氣含量可控在2ppm內(5mbar)
5. 真空可達1×10^-5mbar(分子泵)
6. 可選腔體正壓模式
7. 多種工藝氣氛：N2、N2/H2、純H2、HCOOH(N2載氣)
8. ArH2等離子輔助工藝
9. 腔室頂蓋配有觀察窗
10.完善系統狀態監控和安全互鎖設計

型號      加熱板尺寸     加熱功率
SRO-702    147×217       4kw
SRO-704    230×217       6kw
SRO-706    313×240       9kw