主要特點:高效節能、真空清潔、圖像清晰
CX-100S軟硬件採用目前世界先進,成熟穩定可靠的技術,是一款全計算機控制的集成化、緊湊型數字化掃描電鏡。CX-100S的研製,始終圍繞用戶能夠高效分析,獲得清晰亮麗的圖像的目標,實現了掃描電鏡的藝朮級創新。
技術參數:
分辨率:3.0nm(30KV,SEimage)10nm(3KV,SEimage)
4.0nm(30KV,BSEimage)
放大倍數:30X~300,000X(WD=5mm)
最低3X(WD=50mm)
加速電壓:0.5KV~30KV
電子槍:W燈絲,預對中
聚光鏡:2級電磁透鏡
物鏡:圓錐形電磁透鏡
物鏡光闌:4個可變孔徑光闌,(30um,50um,100um,200um),搖擺對中
210mmX280mm,可接配EDS,BSE,WDS,f樣品室:內部尺寸
樣品台:五軸手動/自動,機械對中樣品台
樣品台行程:X:60mm,Y:40mm,Z:5~50mm,T:-20°~90°,R:360°
操作:鼠標鍵盤,基於WindowsTM的GUI操作軟件
語言:英語
圖像掃描模式:全屏和選區
圖像位移:±20um(WD=5mm)
最大圖像像素:2560x1920pixel
圖像格式:JPG、BMP、TIFF等
圖像處理分析軟件
真空系統:兩級全自動渦輪分子泵系統(210liters/sec)
外形尺寸和重量:主機:77(W)x88(D)x150(H)㎝,310㎏
操作桌:85(W)x80(D)x70(H)㎝,10㎏
電源主機電器控制部分單相220~250V交流50/60Hz2KW
5% ±穩定度小於
地線獨立地線1條,小於等於100Ω
環境
溫度15-30°C
濕度小於等於70%
交流磁場小於等於0.3uT
地面振動5um/secMax.@<5~10Hz
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