主要特点：

操作简便：EMS7620适合预算有限、需要高质量镀膜、仪器易操作的用户。对于常规应用,EMS7620具有φ100㎜(4″)的玻璃腔室，使用磁控溅射头，带有易更换的圆片靶（标配为金/钯合金）。溅射头为方便的铰链式，并具有电安全互锁装置。高压电缆带有屏蔽功能，以预防意外损坏。通过氩气针阀调整真空度，以改变等离子电流；气体注入系统可预设等离子放电。

必备件：推荐使用50 l/m 双级旋转机械泵，随机配有油雾过滤器。如果想使用已有的旋转机械泵，确保它的容量为50 l/m 或更优是非常重要的。

可选附件:- 镀碳仪

EMS7620可选配镀碳附件(EMS7640-CF)，包括蒸发电源和碳丝头。镀碳附件很容易安装。用碳丝头替换铰链式连接的溅射头即可。为确保暴露在外的溅射头不被供电，安装了机电互锁装置，以确保溅射头断电。

 

靶材的选择：

金/钯合金作为标配。与金相比，颗粒更细。

金：通常为首选。

铂：溅射颗粒尺寸比金和金/钯合金还要细小。溅射速率减慢，价格比金和金/钯合金昂贵一些。

银：与其它金属比较，银镀层容易取下，较适用于博物馆和法院的样品镀膜。

钯：用于X-射线微量分析时，常用来取代金、金/钯和铂。

所有的靶尺寸均为57mm直径x0.1mm厚（除非另外指定）

 

产品订购信息：

货号	产品名称	规格
EMS7620	‘Mini’ Sputter Coater	each
91017-AU	Gold (Au) target	each
91017-AP	Gold/palladium (Au/Pd) target	each
91017-PT	Platinum (Pt) target	each
91017-AG	Silver (Ag) target	each
91017-PD	Palladium (Pd) target	each
91017-.2-AU	Gold target (Au) 0.2mm thick	each
91017-.2-AP	Gold/palladium (Au/Pd) target 0.2mm thick	each
91017-.2-PT	Platinum (Pt) target 0.2mm thick	each
91003	RV-3 two-stage rotary pump with oil mist filter (115/230V 50/60Hz)	each
96000	Replacement oil mist filter替换的油雾过滤器	each
91040	Carbon evaporation attachment — EMS 7640	each
91006	Film Thickness Monitor（可选件）	each

备注：

可根据要求选用其它的泵，可选用国产泵。