|
原理：通过等离子体与固体表面的相互作用，消除固体表面的有机污染物，固体如：金属、陶瓷、玻璃、硅片等等，同时可以用等离子处理系统对样品表面进行处理，改善样品表面的特性，如亲水/疏水特性，表面自由能，以及表面的吸附/粘附特性等等。
1050型射频等离子处理仪（Plasma Asher）的等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成。同时两种处理气体流量针阀监控，全部或部分通气口控制。
应用领域：
-
生物芯片领域
-
医用材料、光学材料研究
-
电子半导体领域
-
高分子材料研究
-
电化学、高端零部件处理
-
有机材料的灰化、刻蚀
仪器性能：
-
自动调频高频发生器
-
内置旋转真空泵
-
此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀
-
低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)
-
真空监测.
-
双重气流针阀控制
-
精确时间定时
-
微处理器程序设置
-
LCD状态数字显示
-
腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，样本操作方便
-
聚碳酸脂安全防护
技术参数：
|
电镜有机样本的刻蚀尺寸
|
450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)
|
|
工作腔室
|
派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.)
(硼硅酸盐玻璃为标准配置)
|
|
重量
|
25Kg
|
|
等离子体输出
|
最大150w，13.56 MHz 。
|
|
等离子体输出
|
最大150w，13.56 MHz 。
|
|
真空度
|
>ATM to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.
|
|
时间控制
|
最长可设置99小时59分钟
|
|
双重气流控制
|
双重针阀气流控制，可选1种或2种气体（校准 5-100cm3/min air at A.T.P)
|
|
电源
|
230 V， 50Hz (3 amp Max)
|
产品信息：
|
货号
|
产品名称
|
规格
|
|
93000
|
EMS 1050 Plasma Asher
|
台
|
|
91005-F
|
Rotary Vacuum Pump (Fomblin)
|
个
|
|
