产品功能
适用于太阳能电池制程，对太阳能矽晶片之边缘做刻蚀

产品特色
．专利设计之特殊等离子电极
．高密度等离子源
．处理速度快，产能高，可靠度高
．操作范围广
．全自动且容易操作
．设备稳定度高，容易维护
．可依客户需求作更改

应用产业
．太阳能电池
．太阳能矽晶片边缘做刻蚀