产品功能
可进行去胶渣、表面清洁、活化、改善、接枝或粗糙化等

产品特色
．高密度等离子源，等离子效率高，减少制程时间
．专利设计之特殊等离子电极
．特殊之气体进气、扩散及抽气系统设计
．处理之均匀性佳
．等离子均匀性佳
．可使用多种制程气体
．全自动且容易操作
．设备稳定高，容易维护
．可根据客户需求设计专用特殊规格之机台

应用产业
．PCB、FPC
．印刷或黏着前之表面粗化或清洁