产品功能
真空蝶阀具备蝶阀本体与控制器，控制器可供应蝶阀电源与压力计电源，
节省系统与蝶阀间复杂的配线，另外真空蝶阀除具备蝶阀开合度调节压力外，
更首创加入流量控制器的操作来调节压力，可比一般外购蝶阀更容易稳定系统压力

产品特色
．ISO63~ISO160 管径
．具备压力与角度控制模式
．具备蝶阀本体与控制器
．内部提供压力计电源
．可操作流量控制器调节压力
．具备压力异常警告

应用产业
．镀膜产业
．光电半导体产业
．相关真空制程领域