本设备为浸泡式清洗机，用于扩散、

外延等设备的石英管，碳化硅管的清洗

⑴ 整台设备采用德国磁白色聚丙板（PP）搭配德国焊接设备焊接而成。   

⑵ 设备分为两个清洗槽，内槽为酸洗槽，外槽为水洗槽，内外槽均装在隔离槽内，与底部和周围隔离。

⑶ 隔离槽底部倾斜式，最低处设有排水管，隔离槽后设有排气装置。

⑷清洗槽左右两端设有美国进口纯水喷枪和氮气喷枪。