英国Oxford牛津SRP-4面铜探头（CMI563/CMI700专用）

SRP-4面铜探头测试技术参数

专用于Oxford牛津CMI760(CMI700)座台式孔面铜测厚仪

铜厚测量范围：

化学铜：10μin–500μin (0.25μm–12.7μm)

电镀铜：0.1 mil–6 mil (2.5μm–152μm)

线形铜可测试线宽范围：8 mil–250 mil (203μm–6350μm)

准确度：±1% (±0.1μm)参考标准片

精确度：化学铜：标准差0.2 %；电镀铜：标准差0.5 %

分辨率：0.01 mils≥1 mil, 0.001 mils <1 mil,

0.1μm≥10μm, 0.01μm < 10μm, 0.001μm < 1μm