专业制造福润德lpcvd设备

型号：	frd-12
品牌：	福润德
原产地：	中国
类别：	工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰	lpcvd设备
单价：	¥1 / 台
最少订量：	1 台

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产品描述

HTML代碼︰	LPCVD 用于淀积Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及难熔金属硅化物等多种薄膜。广泛应用于半导体集成电路、电力、电子、光电子及M等行业的生产工艺中。 ■ 设备主要特点 ◆ 对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压力实现自动控制。 ◆ 采用进口压力控制系统,闭环控制,稳定性强。 ◆ 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门,确保气路气密性。

HTML代碼︰

LPCVD 用于淀积Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及难熔金属硅化物等多种薄膜。广泛应用于半导体集成电路、电力、电子、光电子及M等行业的生产工艺中。

■ 设备主要特点

◆ 对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压力实现自动控制。
◆ 采用进口压力控制系统,闭环控制,稳定性强。
◆ 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门,确保气路气密性。