矩形平面靶的磁场方向与靶面阴极平行，形成环形磁场，该磁场与电场E正交．当真空室内充入氩气后，便被电离放电，放电产生的A+r离子轰击阴极(靶)的表面．二次电子e1受磁场B的洛仑兹力作用，沿垂直于磁力线方向运动(如图3所示)．这些电子运动路径长，增加了气体分子磁撞的机会，使气体的电离几率增加，进而增大了溅射速率。

矩形平面靶的特点是结构简单，通用性强，膜层均匀性与重复性好，离化率相对其他方式的要高一些．但缺点是靶材的利用率低，一般约为20%左右．当辉光区，即磁力线分布区域的靶材消耗到一定程度时，将形成条形凹坑，靶材体变薄，凹坑深度达到一定程度时，靶材就不能继续使用。

目前针对贵金属，平面靶采用特殊磁场设计，可以做到40%以上的利用率。

常用规格：靶面宽度60-80-120-160  长度200-1600之间。