型号: | NXQ 4000系列 |
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品牌: | NXQ |
原产地: | 美国 |
类别: | 工业设备 / 化工设备 |
标签︰ | 美国NXQ光刻机 , 紫外掩膜式光刻机 , 进口光刻机 |
单价: |
¥2000000
/ 台
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最少订量: | 1 台 |
一、美国NXQ紫外掩膜光刻机 产品概述:
NXQ MASK ALIGNER光刻机分为半自动和全自动两大系列。其中,NXQ4000系列光刻机是以半自动系统为主。该系统优越的操作性,超高的分辨率,均匀的光学系统,稳定的接近式和接触式光刻及超高的性价比,使NXQ光刻系统已经被全国各地众多著名企业、研发中心、研究所和高校采用。
二、美国NXQ紫外掩膜光刻机 技术参数:
1、芯片尺寸:5mm~150mm的圆片/方片和不规则碎片(支持对不规则碎片的特殊卡盘设计);
2、曝光波长:350nm-450nm(其它波长可选配);
3、汞灯功率:350W/500W(其它功率可选配);
4、分辨率:优于0.5um;
5、曝光模式:支持接近式曝光,各种接触式(真空接触、软接触、硬接触等)曝光;
6、出射光强范围:10mW/cm2~55mW/cm2@405nm;
7、支持恒定光强或恒定功率模式;
8、曝光时间:0.1~999.9s;
9、对准精度:双高清彩色CCD + 双高清彩色监视器,对准精度可达到0.4微米内;
10、掩膜尺寸:2 x 2英寸到 9 x 9英寸(2 x 2英寸需要掩膜转换器);
11、光强均匀性Uniformity:
<±1% over 2" 区域;
<±2% over 4" 区域;
<±3% over 6" 区域;
12、双面光刻:具备背面红外对准(IR BSA)和光学背面对准(OBS BSA),双面对准精度≤2μm;
13、电源:高灵敏度光强可控电源。
14、可选型号:
NXQ400-6 、NXQ400-8、NXQ800-6、NXQ8006 Sapphire、NXQ800-8 。
三、产品特点:
1、可选支持单面对准和双面对准设计;
2、高清晰彩色双CCD镜头采用先进的分裂视场显微镜镜头(基于无限远修正的CCD镜头设计);
3、双头高清全彩物镜(单视场或分裂视场可供用户灵活选择);
4、高清彩色双显示屏;
5、全新气动轴承导轨设计,高精准,低磨损,无需售后维护的;
6、具有自动执行楔形误差补偿,并在找平后自动定位功能;
7、操作简易,具有支持多操作员同台使用的友好操作界面;
8、操控手柄调控模式的*设计;
9、采用LED穿透物镜照明技术,具有优秀的对准亮度;
10、采用基于无限远修正的显微镜镜头架构;
11、抗衍射反射的高效光学光路设计;
12、带安全保护功能的温度和气流传感器;
13、全景准直透镜光线偏差半角:<1.84度;
14、设备稳定性,耐用性超高;
武汉月忆神湖科技有限公司 | |
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国家/地区︰ | 湖北省武汉市 |
经营性质︰ | 贸易商 |
联系电话︰ | 13277928895 |
联系人︰ | 赛斯 (销售顾问) |
最后上线︰ | 2024/08/07 |