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4~12寸晶圆蛋糕盒及相关缓冲材料

蛋糕盒特性：

1、 盒里设有缓冲片在晶圆边围，以防止运输途中碎晶
2、可装载25片晶圆
3、使用低异物，低离子污染材料
4、表面电阻<1x109Ω
5、对应自动化设备


缓冲隔纸特性：

1、低颗粒物数量。
2、低离子污染。
3、减低静电对晶圆的破坏

4、两面相同压纹路。
5、容易与晶圆分离开。

缓冲泡绵特性：

1、PE发泡绵
2、吸收冲击有缓冲作用
3、低离子污染
5、适用于超薄片晶圆
6、独立发泡构造减少颗粒物产生
 

静电吸附用保护膜

软质PVC （聚氯乙烯）

– 柔软，易加工，可以加上不同的附加价值
(阻燃、减少静电、吸收紫外线、防虫、等）

用途

– 维护
（木棉清理，喷漆车间，核电厂维护，建筑工程现场）

– 隔帘
（无尘车间，生产线，出入口）

– 其他
（机械设备保护，包装保护，等）