用 　途:

主要用于半导体光电子器件、硅器件等制作时低真空状态下的实验及科研。 

--------------------------------------------------------------------------------------

主要特点： 具有体积小；耗电省； 组合方便； 使用灵活。 

-------------------------------------------------------------------------------------   

组成部分：

 ①不锈钢工作室［分为 “带加热基座”及 “无加热基座”两类 ］ 

  ②低真空系统［极限真空度 7Pa］ 

  ③气路系统（包括阀门、流量计等） 

    ④电气控制系统（根据用户的不同整机配置设计） 

-------------------------------------------------------------------------------------