Dry Etching干式蚀刻机系统

Dry Etching干式蚀刻机系统
型号:D
品牌:SYSKEY
原产地:台湾 中国
类别:工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰蚀刻机 , 刻蚀机台 , 蚀刻设备
单价: -
最少订量:1 台
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产品描述

ICP-Etcher System电感耦合式等离子蚀刻机系统:
                 这是一部以单腔制程平台为基础的高密度等离子蚀刻设备系统,可蚀刻的材质依据反应气体的不同,包罗万象,提供高性能、高可靠度蚀刻制程全方位解决方案。将可支援各种介电质材料蚀刻、高深宽比沟渠蚀刻、金属蚀刻及CaN、InP、DBR等化合物半导体蚀刻等应用。包括了SiO2 、SiNx、SiON、SiC、Poly-S、Metal如AL、W、Ti以及三五族化合物材质如,CaAs、CaAlAs/InP/InGaP及InGaN.
 
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会员信息

上海耀华工贸有限公司
国家/地区︰上海市浦东新区
经营性质︰生产商
联系电话︰ 18721997525
联系人︰Jade (销售经理)
最后上线︰2017/10/08