主要特點：

操作簡便：EMS7620適合預算有限、需要高質量鍍膜、儀器易操作的用戶。對於常規應用,EMS7620具有φ100㎜(4″)的玻璃腔室，使用磁控濺射頭，帶有易更換的圓片靶（標配為金/鈀合金）。濺射頭為方便的鉸鏈式，並具有電安全互鎖裝置。高壓電纜帶有屏蔽功能，以預防意外損坏。通過氬氣針閥調整真空度，以改變等離子電流；氣體注入系統可預設等離子放電。

必備件：推薦使用50 l/m 雙級旋轉機械泵，隨機配有油霧過濾器。如果想使用已有的旋轉機械泵，確保它的容量為50 l/m 或更優是非常重要的。

可選附件:- 鍍碳儀

EMS7620可選配鍍碳附件(EMS7640-CF)，包括蒸發電源和碳絲頭。鍍碳附件很容易安裝。用碳絲頭替換鉸鏈式連接的濺射頭即可。為確保暴露在外的濺射頭不被供電，安裝了機電互鎖裝置，以確保濺射頭斷電。

 

靶材的選擇：

金/鈀合金作為標配。與金相比，顆粒更細。

金：通常為首選。

鉑：濺射顆粒尺寸比金和金/鈀合金還要細小。濺射速率減慢，價格比金和金/鈀合金昂貴一些。

銀：與其它金屬比較，銀鍍層容易取下，較適用於博物館和法院的樣品鍍膜。

鈀：用於X-射線微量分析時，常用來取代金、金/鈀和鉑。

所有的靶尺寸均為57mm直徑x0.1mm厚（除非另外指定）

 

產品訂購信息：

貨號	產品名稱	規格
EMS7620	‘Mini’ Sputter Coater	each
91017-AU	Gold (Au) target	each
91017-AP	Gold/palladium (Au/Pd) target	each
91017-PT	Platinum (Pt) target	each
91017-AG	Silver (Ag) target	each
91017-PD	Palladium (Pd) target	each
91017-.2-AU	Gold target (Au) 0.2mm thick	each
91017-.2-AP	Gold/palladium (Au/Pd) target 0.2mm thick	each
91017-.2-PT	Platinum (Pt) target 0.2mm thick	each
91003	RV-3 two-stage rotary pump with oil mist filter (115/230V 50/60Hz)	each
96000	Replacement oil mist filter替換的油霧過濾器	each
91040	Carbon evaporation attachment — EMS 7640	each
91006	Film Thickness Monitor（可選件）	each

備註：

可根據要求選用其它的泵，可選用國產泵。