等離子有機廢氣處理設備的原理為：當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。

低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。

等離子有機廢氣處理設備技術優點：

介質阻擋放電產生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。

反應快，不受氣速限制。

採用防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設備腐蝕問題。

只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。

設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，不受氣溫的影響。

氣阻小，工藝成熟。