工業VOCS廢氣治理設備可採用的技術工藝有多種，如吸收發法、氧化法、吸附法、生物法、低溫等離子以及微波光解等。

最常用的是燃燒和吸附法，吸收法現在應用比較少，光催化、生物法和低溫等離子是當前VOCS廢氣治理的前沿熱點技術。

1.掩蔽法 採用更強烈的芳香氣味與臭氣摻和，以掩蔽臭氣，使之能被人接收 適用於需立即地、暫時地消除低濃度惡臭氣體影響的場合，惡臭強度2.5左右，無組織排放源，可儘快消除惡臭影響，靈活性大，費用低惡臭成分並沒有被去除

2.稀釋擴散法 將有臭味地氣體通過煙囪排至大氣，或用無臭空氣稀釋，降低惡臭物質濃度以減少臭味 適用於處理中、低濃度的有組織排放的惡臭氣體，費用低設備簡單 易受氣象條件限制，惡臭物質依然存在

3.熱力燃燒法 在高溫下惡臭物質與燃料氣充分混和，實現完全燃燒 適用於處理高濃度、小氣量的可燃性氣體淨化效率高，惡臭物質被徹底氧化分解，設備易腐蝕，消耗燃料，處理成本高，易形成二次污染

4.催化燃燒法 成本超高而無法讓企業得到應用

5.水吸收法 利用臭氣中某些物質易溶于水的特性，使臭氣成分直接與水接觸，從而溶解于水達到脫臭目的 水溶性、有組織排放源的惡臭氣體 工藝簡單，管理方便，設備運轉費用低 產生二次污染，需對洗滌液進行處理；淨化效率低，應與其他技術聯合使用，對硫醇，脂肪酸等處理效果差

6.藥液吸收法 利用臭氣中某些物質和藥液產生化學反應的特性，去除某些臭氣成分適用於處理大氣量、高中濃度的臭氣 能夠有針對性處理某些臭氣成分，工藝較成熟 淨化效率不高，消耗吸收劑，易形成而二次污染

7.吸附法 利用吸附劑的吸附功能使惡臭物質由氣相轉移至固相 適用於處理低濃度，高淨化要求的惡臭氣體淨化效率很高，可以處理多組分惡臭氣體 吸附劑費用昂貴，再生較困難，要求待處理的惡臭氣體有較低的溫度和含塵量

8.生物濾池式脫臭法 惡臭氣體經過去塵增濕或降溫等預處理工藝后，從濾床底部由下向上穿過由濾料組成的濾床，惡臭氣體由氣相轉移至水—微生物混和相，通過固着于濾料上的微生物代謝作用而被分解掉 目前研究最多，工藝最成熟，在實際中也最常用的生物脫臭方法。又可細分為土壤脫臭法、堆肥脫臭法、泥炭脫臭法等 處理費用低 佔地面積大，填料需定期更換，脫臭過程不易控制，運行一段時間后容易出現問題，對疏水性和難生物