德國SENTECH刻蝕機RIE刻蝕ICP刻蝕 SI500

德國SENTECH刻蝕機RIE刻蝕ICP刻蝕 SI500
型號:SI500
品牌:SENTECH
原產地:德國
類別:電子、電力 / 其它電力、電子
標籤︰刻蝕機 , sentech刻蝕機 , RIE/ICP刻蝕
單價: -
最少訂量:1 件

產品描述

 

系統配置:

編號

設備配置

具體指標

1

晶片尺寸

8",使用載盤可以適用於2", 3", 4", 6" 晶圓, 以及小片樣品)

2

等離子源

PTSA ICP等離子源

13.56 MHz, 功率1200 W

集成自動匹配網絡

3

射頻偏置電源

13.56 MHz, 600 W

4

電極溫控

-30?C ~ 250?C (低溫可選-150 ?C

5

反應腔本底真空

≤ 1 x 10-6 mbar

6

氣體管路

標準氣櫃***多可以配置16路氣體管道。(可以增加氣櫃)

7

PC

Windows 7 Professional

SENTECH高級等離子設備操作軟件

8

預真空

配置。

9

He晶片冷卻

配置。

10

機械鉗

配置。

11

深硅刻蝕典型指標

-  刻蝕速率:     2~5 ?m/min

-  選擇比(SiO2): 90:1

 

特性:

全自動/手動過程控制

Recipe控制刻蝕過程

智能過程控制,包括跳轉、循環調用recipe

多用戶權限設置

數據資料記錄

LAN網絡接口

Windows NT 操作軟件

 

選項:

增加氣路

PTSA源石英窗口

在線監測窗口,穿過PTSA源

循環冷卻器,用於下電極溫度控制 (-30?C to 80?C)

高密度等離子體磁性襯板

對等離子源和磁性襯板的外部升高裝置

Cassette到cassette操作方式

穿牆式安裝方式

干涉式終點探測和刻蝕深度測量系統

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會員信息

上海螣芯電子科技有限公司
國家/地區︰上海市闵行区
經營性質︰生產商
聯繫電話︰13122976482
聯繫人︰婁先生 (銷售總監)
最後上線︰2024/12/12