國產全自動光刻機（紫外光刻機）4-12寸可選

技術參數：

1．工作方式：裝載機械手將晶圓片從 A 晶圓盒自動裝載至預定位工作台，經過定位傳感器及自動旋轉系統的調節，實現工件的預定位；裝載機械手再將完成預定位后的晶圓片裝載至對準工作台，經過計算機圖像識別及自動對準系統的調節，實現掩模版上圖形與晶圓片上的圖形的自動對準，也可以不用對位圖形完成一次曝光，經過曝光系統的自動曝光后，再由卸載機械手將晶圓片自動放入 B 晶圓盒，直至整個晶圓盒內的晶圓全部完成套刻曝光。

2．曝光面積： 6寸”（可定製）

3．曝光照度不均勻性：≤3%；

4．曝光強度：0～≥50mw/cm2可調；

5．紫外光束角：≤3°（可選 2 或 1°相對曝光照度會變弱）；

6．紫外光中心波長：365nm；（可選汞燈全波段）

7．紫外光源壽命：≥2 萬小時；

8．分離量：0～≥1090um 可調；

9．對準精度：≤1μm；

10．曝光方式：硬接觸、軟接觸和接近式曝光；

11. 曝光模式：可選擇一次曝光或套刻曝光

12. 定位傳感器及自動旋轉系統（含預訂位工作台）：旋轉角度 Q≥±180°旋

轉精度 Q≤0.001°；

13．圖像識別及自動對準系統（含對準工作台）：對準範圍 X.Y≥±5mm，升旋

轉角度 Q≥±3°，顯微鏡整體橫向相對移動≥±70mm。

14．掩模版尺寸： 7”x7 “（可定製）

15．晶圓尺寸： 6“（可定製）

晶圓盒移動：Z≥±100mm；

17．裝卸載機械手：X≥±100mm，Y≥±100mm,Z≥±20mm；

18.晶圓盒晶圓片數量：根據客戶晶圓盒晶圓數量定；

19．版架台移動：X.Y≥±3mm，Z≥±2mm；

20．曝光定時：0～999.9 秒可調；

21. 生產節拍：10 秒+曝光時間；

22．電源：單相 AC220V 50HZ ，功耗≤1KW；

23．潔淨空氣壓力：≥0.4MPa；

24．真空度：-0.07MPa～-0.09MPa；25．尺寸：1200*1000*1500mm ；

26．重量：約 200kg