Laurell 勻膠旋塗儀

Laurell 勻膠旋塗儀
型號:WS-650Mz-23NPPB
品牌:Laurell
原產地:美國
類別:工業設備 / 化工設備
標籤︰Laurell勻膠旋塗儀 , WS-650Mz-23NPPB勻 , Laurell EDC系統
單價: ¥75000 / 台
最少訂量:1 台

產品描述

一、Laurell勻膠旋塗儀 650系列 產品特點:

(1)過程控制器:650 系列過程控制器利用強大的微處理器,並使用其隨附的PC軟件,使得在設置和使用時可以非常靈活的進行調整。該控制器允許操作員在流程執行期間實時交互,包括暫停時間、 停止並從這一點繼續。

(2)系統外觀材質:該系統的外殼通常採用的是NPP材質,這種材料能夠抵抗溶劑和強酸、強碱。【選配】特殊的 PTFE Hostaflon® TFM-1600 / Teflon® AF housing 外殼可用(常用於高溫化學和亞微米顆粒研究)。

(3)Laurell自有的迷宮式密封可保護電機和控制電子設備免受化學污染。該密封件為工藝腔室提供氮氣吹掃,並且在現場測試期間已被証明在亞微米水平上是無顆粒的。

(4)安全設計:與操作員電氣隔離、門聯鎖以及組件的 UL 和 CSA 認証確保了多年的安全。當真空開關未接合且蓋子打開時,聯鎖可防止旋轉,所有Laurell系統均符合CE和RoHS標準。

(5)過程保障:所有 Laurell 過程控制器的“過程保護"功能可確保同一過程不會無意中在同一基材上運行。可以輕鬆繞過此功能以再次運行相同的進程,而無需打開系統,或者可以在over(循環)上運行序列。

 

二、Laurell勻膠旋塗儀 650系列 廠務條件:

(1)氣源: 需要 60~70 PSIG (4–5 bar) 的氮氣/CDA 對迷宮式電機密封件加壓。(這種氣體還會吹掃工藝腔室。氣體消耗量非常低,每小時 3 立方英呎。)

(2)真空:建議在 25 英吋汞柱下使用 28–635 英吋(~711–4 毫米)汞柱的真空,流量為 5.0 SCFM(127.0 立方米/分鐘)。

(3)電源:95~240VAC, 47/63HZ, 約300 W;

 

三、Laurell WS-650Mz-23NPPB 勻膠旋塗儀  技術參數:

(1)腔體尺寸:9.5英吋 (241 毫米);

(2)Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑圓片,方片125x125mm;

(3)轉動速度:100-12,000rpm;

(4)旋塗加速度:1-12000rpm/sec(空載);

(5)馬達旋塗轉速:穩定性能誤差<± 1 %;

(6)轉速調節精度:1rpm,重複性1rpm;

(7)工藝時間設定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;

(8)勻膠機材質:NPP天然聚丙烯材質,抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;

(9)設備控制器:PLC控制,按鍵式操作;

(10)程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設置51步不同的速度狀態;

(11)高認証:美國國家標準技術研究院(NIST)認証;

(12)配套真空泵系統:無 油 型 220~240伏交流,50/60赫茲;

(13)售后服務:提供上門現場 或 遠程在線 安裝培訓,用戶可靈活選擇;

 

四、產品應用:

Laurell WS-650 系列通常用於溶劑、碱或 酸基加工:塗層、蝕刻、顯影、漂洗乾燥和 清洗。雖然支持所有這些過程,但由於已知材料,Laurell 建議僅一次性使用 衝突。例如,光刻膠和顯影劑(交叉污染), 和SC-1和SC-2(HCl + NH4OH), 產生 NH4Cl, 危險的吸入風險。

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*Laurell塗膠顯影系列產品型號簡介:

 

型號

控制器

大基板尺寸

大轉速

650系列 勻膠旋塗儀

WS-650-23B

650 系列

ø150毫米(5英吋×5英吋)

12000rpm

WS-650-8B

650 系列

ø200毫米(7英吋×7英吋)

12000rpm

WS-650-15B

650 系列

ø300毫米(9英吋×9英吋)

12000rpm

EDC™系列 勻膠顯影機

EDC-650-23B

650 系列

ø150毫米(5英吋×5英吋)

12000rpm

EDC-650-8B

650 系列

ø200毫米(7英吋×7英吋)

12000rpm

EDC-650-15B

650 系列

ø300毫米(9英吋×9英吋)

12000rpm

 

 

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最後上線︰2024/08/07