一、美國NXQ紫外掩膜光刻機 產品概述：

NXQ MASK ALIGNER光刻機分為半自動和全自動兩大系列。其中，NXQ4000系列光刻機是以半自動系統為主。該系統優越的操作性，超高的分辨率，均勻的光學系統，穩定的接近式和接觸式光刻及超高的性價比，使NXQ光刻系統已經被全國各地眾多著名企業、研發中心、研究所和高校採用。

二、美國NXQ紫外掩膜光刻機 技術參數：

1、芯片尺寸：5mm~150mm的圓片/方片和不規則碎片（支持對不規則碎片的特殊卡盤設計）；

2、曝光波長：350nm-450nm（其它波長可選配）；

3、汞燈功率：350W/500W（其它功率可選配）；

4、分辨率：優于0.5um；

5、曝光模式：支持接近式曝光，各種接觸式（真空接觸、軟接觸、硬接觸等）曝光；

6、出射光強範圍：10mW/cm2~55mW/cm2@405nm；

7、支持恆定光強或恆定功率模式；

8、曝光時間：0.1~999.9s；

9、對準精度：雙高清彩色CCD + 雙高清彩色監視器，對準精度可達到0.4微米內；

10、掩膜尺寸：2 x 2英吋到 9 x 9英吋(2 x 2英吋需要掩膜轉換器)；

11、光強均勻性Uniformity：

<±1% over 2" 區域；

<±2% over 4" 區域；

<±3% over 6" 區域；

12、雙面光刻：具備背面紅外對準（IR BSA）和光學背面對準（OBS BSA），雙面對準精度≤2μm；

13、電源：高靈敏度光強可控電源。

14、可選型號：

NXQ400-6  、NXQ400-8、NXQ800-6、NXQ8006 Sapphire、NXQ800-8 。

三、產品特點：

1、可選支持單面對準和雙面對準設計；

2、高清晰彩色雙CCD鏡頭採用先進的分裂視場顯微鏡鏡頭（基於無限遠修正的CCD鏡頭設計）；

3、雙頭高清全彩物鏡（單視場或分裂視場可供用戶靈活選擇）；

4、高清彩色雙顯示屏；

5、全新氣動軸承導軌設計，高精準，低磨損，無需售后維護的；

6、具有自動執行楔形誤差補償，並在找平后自動定位功能；

7、操作簡易，具有支持多操作員同台使用的友好操作界面；

8、操控手柄調控模式的*設計；

9、採用LED穿透物鏡照明技術，具有優秀的對準亮度；

10、採用基於無限遠修正的顯微鏡鏡頭架構；

11、抗衍射反射的高效光學光路設計；

12、帶安全保護功能的溫度和氣流傳感器；

13、全景准直透鏡光線偏差半角:<1.84度；

14、設備穩定性，耐用性超高；