我公司能夠為各種擴散爐提供完整的全系列高質量加熱爐體，技術性能指標不低於原設備用爐體。以我公司的加熱體專有技術製造的爐體將提供更寬的工藝溫度範圍及更高的恆溫區精度以及更長的使用壽命。
技術特點：
優質加熱絲：KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…
絕熱材料：PMF T2 T3…晶體纖維等
絕緣子：高純剛玉
端口過渡環：氧化鋁氧化鋯等真空成型。


用途：半導體擴散爐 燒結爐等
◆滿足4"-8"立式、臥式晶圓擴散爐"
◆完整的產品系列，滿足該產品的
◆進口替代先進的材料及製造技術
◆質量技術指標優異
◆使用溫度：室溫-1300℃±0.5℃
◆高溫型、普通型、快速昇降溫型




按客戶的爐型要求，可內襯高純剛玉管或SiC管

提供完整的相關配件
■熱偶系列
■真空成型過渡環、端口
■按客戶要求的各種特異爐體

For Diffusion Oxidation Lpcvd Pecvd Procss