開合/輕型快速昇降溫爐體（Tube）主要用於半導體外延、晶體生長爐等。我公司採用國際先進技術，選用優質材料，根據用戶要求定做。具有溫度均勻性好、壽命長、性價比高等優點。
技術指標:>
■ 有效口徑φ90－φ280mm■ 工作溫度：200℃－1300℃

■ 恆溫區長度：300-1000mm

■ 均勻度：±1℃/±0.5℃

■ 工藝管外徑（mm）：Φ80-Φ260

■ 多溫區控制（3-5）
技術特點:
◇ 優質加熱絲：KANTHAL/APM A-AF D及HRE…
◇ 絕熱材料：PMF T2 T3…晶體纖維等
◇ 絕 緣 子：高純剛玉
◇ 端口過渡環：氧化鋁、氧化鋯等真空成型。

歡迎索取相應詳盡的技術資料及共研相應項目的解決方案。