牛津儀器測厚儀器CMI760專為滿足印刷電路板行業銅厚測量和質量控制的需求而設計。CMI760可用於測量表面銅和穿孔內銅厚度。這款高擴展性的臺式測厚儀系統能採用微電阻和電渦流兩種方法來達到對表面銅和穿孔內銅厚度準確和精確的測量。CMI760臺式測量系統具有非常高的多功能性和可擴展性，對多種探頭的兼容使其滿足了包括表面銅、穿孔內銅和微孔內銅厚度的測量、以及孔內銅質量測試的多種應用需求。同時CMI760具有先進的統計功能用於測試數據的整理分析。
　　
　　CMI760配置包括：CMI760主機，SRP-4探頭，SRP-4探頭替換用探針模塊（1個），NIST認証的校驗用標準片。選配配件：ETP探頭，TRP探頭，SRG軟件。
　　
　　SRP-4面銅探頭測試技術參數：
　　銅厚測量範圍：
　　化學銅：10μin–500μin（0.25μm–12.7μm）
　　電鍍銅：0.1mil–6mil（2.5μm–152μm）
　　線形銅可測試線寬範圍：8mil–250mil（203μm–6350μm）
　　準確度：±1％，（±0.1μm）參考標準片
　　精確度：化學銅：標準差0.2％；電鍍銅：標準差0.5％
　　分辨率：0.01mils≥1mil，0.001mils＜1mil，0.1μm≥0μm，0.01μm＜10μm，0.001μm＜1μm。
　　
　　ETP孔銅探頭測試技術參數：
　　可測試最小孔直徑：35mils（899μm）　
　　測量厚度範圍：0.08–4.0mils（1–102μm）
　　電渦流原理：遵守ASTM-E376-96標準的相關規定
　　準確度：±0.01mil（0.25μm）＜1mil（25μm）
　　精確度：1.2mil（30μm）時，達到1.0％（實驗室情況下）
　　分辨率：0.01mils（0.1μm）
　　
　　TRP-M（微孔）探頭測試技術參數：
　　最小可測試孔直徑範圍：10–40mils（254–1016μm）
　　孔內銅厚測試範圍：0.5-2.5mils（12.7-63.5μm）
　　最大可測試板厚：175mil（4445μm）
　　最小可測試板厚：板厚的最小值必須比所對應測試線路板的最小孔孔徑值高3mils（76.2μm）
　　
　　準確度（對比金相檢測法）：±0.01mil（0.25μm）＜1mil（25μm）±10％≥1mil（25μm）
　　精確度：不建議對同一孔進行多次測試　
　　分辨率：0.01mil（0.1μm）
　　顯示：6位LCD數顯
　　測量單位：um-mils可選　
　　統計數據：平均值、標準偏差、最大值max、最小值min
　　接口：232串口，打印並口
　　電源：AC220
　　儀器尺寸：290x270x140mm
　　儀器重量：2.79kg。