SCRUBBER（廢氣處理）

型號：	JC
品牌：	-
原產地：	中國
類別：	電子、電力 / 其它電力、電子
標籤︰	廢氣處理 , 尾氣處理 , SCRUBBER
單價：	-
最少訂量：	1 台

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產品描述

產品應用：為 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備，應用於半導體行業、太陽能電池行業廢氣處理

產品簡介：
◆處理方式： “濕法” 、“濕法 +燃燒”
◆處理原理：
濕法：多級水噴淋，使易溶于水或與水反應生成沉積的物質，已達到有毒腐蝕易燃易爆的氣體完整回收。
濕法 +燃燒：採用電加熱方式，有毒氣體等與氧氣燃燒反應生成無毒的物質及易溶于水的物質，排放物為無毒無害的氣體。
◆處理的氣體種類包括SiH4、NH3、HCL、PH3、B2H6(BH3)、H2、NF3、CHF3等。
◆控制方式：全自動/手動（可切換）
◆完善的報警、連鎖保護措施，如斷水報警、人工或自動切入外接水臨時處理以及根據用戶定製的不同安全處理要求以適應不同行業的實際工藝使用要求
◆氣路管件採用1/4”及3/8”不鏽鋼管道，為耐腐蝕級316L（CARDINAL/SANDVIK）、燃燒室及噴淋室為304不鏽鋼，閥門焊接頭為 SWAGELOK或相當、塑料管道閥門採用優質PVC材料，泵採用耐腐蝕水循環泵、連接口採用標準的KF連接及VCR、卡套等接口，管道採用自動軌道焊接

主要技術指標（濕法 +燃燒）
◆外形尺寸：750mmW×1000mmD×1800mmH；
◆供電：三相四線/380VAC/50HZ/6KW(MAX)+2KW；
◆處理能力：≥100SLM (AWG-200HW型為200SLM, AWG-400HW型為400SLM)
◆空氣：5-6Kg/cm2,1/4英吋管道 ,160LPM(MAX)
◆N2，5-7Kg/cm2，1/4英吋管道,50LPM(MAX)
◆設備的排風口：Φ100mm，1000LPM
◆進氣管道：2進口KF50,排氣管道為KF80（可應用戶的規格調整）

反應參考（燃燒）

序號	氣體	反應參考（實際複雜）
1	SiH4	SiH4 +2O2--------------------＞SiO2+2H2O
2	PH3	2PH3 +4O2--------------------＞P2O5+3H2O
3	AsH3	2AsH3 +4O2--------------------＞As2O5+3H2O
4	B2H6	B2H6 +4O2--------------------＞B2O5+3H2O
5	NH3	4NH3 +3O2 --------------------＞2N2+3H2O
6	SiF4	SiF4 +O2 --------------------＞SiO2+2F2
7	WF6	WF6 +3/2O2 --------------------＞WO3+3F2
8	C2F5Cl2	C2F5Cl2+4O2--------------------＞4CO2+5F2+2Cl2
9	SiH2Cl2	SiH2Cl2+3/2O2--------------------＞SiO2+ H2O +Cl2
10	H2	2H2+O2--------------------＞2H2O
11	C2F6	C2F6+O2 --------------------＞2CO2+3F2
12	SF6	SF6+O2--------------------＞SO2+3F2
13	BCl3	BCl3+5/2O2 --------------------＞B2O5+3Cl2
14	CHF3	CHF3+5/2O2--------------------＞2CO2+ H2O +3F2
15	SiCl4	SiCl4+O2 --------------------＞SiO2+ 2Cl2
16	CCl4	CCl4+O2--------------------＞CO2+2Cl2
17	BF3	BF35/2O2--------------------＞B2O5+3F2
18	C2ClF5	2C2ClF5+4O2 --------------------＞4CO2+ Cl2+5F2
19	NF3	NF3+O2--------------------＞NO2+F2(水反應或氧化)

會員信息

青島華旗科技有限公司
國家/地區︰	山东省青岛市
經營性質︰	生產商
聯繫電話︰	87081038
聯繫人︰	李強 (經營部)
最後上線︰	2014/08/18