PECVD等離子增強化學氣相沉積

PECVD等離子增強化學氣相沉積
型號:-
品牌:-
原產地:美國
類別:工業設備 / 電子電氣產品製造設備
標籤︰PECVD , 等離子沉積 , 化學沉積
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產品描述

可沉積薄膜:氧化物薄膜、氮化物薄膜,氮氧化物薄膜、無定形硅薄膜和碳化硅薄膜等等,根據電極的配置,可用於單基片工藝,也可配備承片盤,處理基片(3~12尺寸),或者多尺寸批處理基片(4x33x47x2)。產品型號,有研髮型,小規模生產型適用於不同的客戶要求。
PECVD等離子增強化學氣相沉積 1

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北京特博萬德科技有限公司
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最後上線︰2012/06/18