薄膜方塊電阻測試儀
薄膜方塊電阻測試儀主要用來測量硅外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架、四探針頭及專業測量軟件組成。

功能特點
本套儀器的特點是主機配置雙數字表，在測量電阻率的同時，另一塊數字表（以萬分之几的精度）適時監測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恆流源，使測量電流高度穩定。主機配有恆流源開關，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生，更好地保護箔膜。主機配置了“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保証了儀器測量電阻率的重複性和準確度。本套儀器使用專用軟件進行數據採集,可實現自動換向測量、存儲,求平均值，最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內容。
技術參數
測量範圍
■ 可測方塊電阻：0.001～1.9*105Ω·□

探針
■ 使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸套，確保探針間距的恆定、準確。
■ 控制寶石內孔與探針之間的縫隙不大於6μｍ，保証探針的小游移率。
■ 採用特製的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有獨立、準確的壓力。
■ 量具精度的硬質合金探針，在寶石導孔內穩定運動，持久耐磨。

恆流源
■ 輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續可調
■ 量程：
0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
■ 恆流精度：各檔均低於±0.05%

直流數字電壓表
■ 測量範圍：0～199.99mV
■ 靈敏度：10μV
■ 基本誤差：±（0.004%讀數+0.01%滿度）
■ 輸入阻抗：≥1000ΩM

供電電源
■ AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W

使用環境
■ 溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
■ 無較強的電場干擾，無強光直接照射

重量、體積
■ 主機重量：7.5kg
■ 體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度）