真空爐用於真空條件下集成電路、電力電子器件生產線對所生產產品進行燒結、合金、退火、焊接等工藝處理。具有控溫精度高，降溫速度快等特點。
真空爐技術指標：
石英管真空室：1—3室
真空度：1Pa，加擴散泵為5x10-3Pa
工作溫度： <1300℃
控溫精度： ±1℃
等溫區長度：根據工藝要求
口徑：Φ80mm～Φ280mm
控制方式：程控、微控