太陽能光伏擴散爐

太陽能光伏擴散爐
型號:-
品牌:福潤德
原產地:中國
類別:電子、電力 / 其它電力、電子
標籤︰ -
單價: ¥1 / 件
最少訂量:1 件

產品描述

太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產線對125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟着陸擴散爐。 
技術指標:
可處理硅片尺寸:125mm×125mm、156mm×156mm
外型形式:臥式1—4管結構
載片量:400片/管
擴散方式:閉管擴散、軟着陸全封閉
工作溫度:200℃—1300℃
恆溫區長度及精度:200mm—1100mm≤±1℃
單點溫度穩定性、重複性: ≤±1℃/24h
溫度控制:5段控溫
總功率:120KVA
送片裝置:懸臂推拉舟,碳化硅槳最大載重17kg
氣路系統:1—5路工藝氣體/管
氣體控制:進口MFC
控制方式:工控機、觸摸屏
Thinnerwafers:180Um
Break rate:0.8%
方阻均勻度範圍:片內±5%,片間±5%,批間±5%

 

太陽能光伏擴散爐 1

會員信息

青島福潤德微電子設備有限公司
國家/地區︰山东省青岛市
經營性質︰生產商
聯繫電話︰13668894181
聯繫人︰徐魯陽 (客服)
最後上線︰2024/09/03