6寸中端探針台

產品描述

點:	適用對象：適用於6英吋以內的各種半導體器件的高精度測試。
	台面為特有的C型設計，使台體物穩定性增強。
	大旋鈕控制，手感舒適

類型	規格
整體參數規格:	重量：約60kg（帶顯微鏡）。
	尺寸：
	設計：人性化的機學設計，便於操作工程師長時間舒適操作。
平台規格:	C型設計，可以放置6-8個探針座。
平台規格:	平整度：5μm ，使探針座的吸附更為穩固牢靠。
Chuck（載物台）規格:	尺寸：直徑為6英吋的圓盤（約150MM）。
	材質：SU316L不鏽鋼升級空間：鍍金。
	吸附孔：中心孔徑最小可做到250μm，最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，最大能夠吸住尺寸為6"X6"。
	旋轉角度：可360度旋轉，旋轉角度可微調，微調精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕。
	Chuck昇降：可以快速昇降4MM，並且附帶旋鈕細微調節功能。
	X-Y移動行程：移動範圍為6"X6"，移動精度為5μm，配合針座的移動可以保証wafer上的die都能夠準確點測到。