8寸高端測試台

產品描述

特點:

此款適用於8寸以內的各種半導體器件的高精度測試。

類型	規格
整體參數規格:	重量：約80kg（帶顯微鏡）。
	尺寸：
	設計：人性化的機學設計，便於操作工程師長時間舒適操作。
平台規格:	C型設計，可以放置8-10個探針座。
	平整度：5μm ，使探針座的吸附更為穩固牢靠。
	平台可以上下昇降，微調1微米精度。
Chuck(載物台)規格:	尺寸：直徑為8英吋的圓盤（約200MM）。
	材質：SU316L不鏽鋼升級空間：鍍金。
	吸附孔：中心孔徑最小可做到250μm，最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，最大能夠吸住尺寸為8"X8"。
	旋轉角度：可360度旋轉，旋轉角度可微調，微調精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕。
	Chuck昇降：可以快速昇降4MM，並且附帶旋鈕細微調節功能。
	X-Y移動行程：移動範圍為8"X8"，移動精度為1μm，配合針座的移動可以保証wafer上的die都能夠準確點測到。
顯微鏡控制:	在探針台本體的功能設計上增加了顯微鏡的氣動昇降，使在測試過程中更換物鏡和樣品更為方便，避免了會有碰傷樣品和鏡頭的問題。