P12高端探針台

產品描述

特點:

此款適用於12英吋以內的各種半導體器件的高精度測試。

類型	規格
整體參數規格:	重量：約120kg（帶顯微鏡）。
	可加裝探針卡
	設計：人性化的機學設計，便於操作工程師長時間舒適操作。
平台規格:	C型設計，可以放置8-12個探針座。
	平整度：5μm，使探針座的吸附更為穩固牢靠。
	平台可以電動昇降25毫米,昇降精度1um，採用PLIC軟件控制平台昇降。
Chuck(載物台)規格:	尺寸：直徑為12英吋的圓盤（約200MM）。
	材質：SU316L不鏽鋼升級空間：鍍金。
	吸附孔：中心孔徑1000μm，最小可以吸住尺寸為1mmX1mm的DIE ，最大能夠吸住尺寸為12"X12" 的wafer。
	旋轉角度可以360度旋轉,帶有細微調節機構，精度0.1度,帶有鎖死功能。
	Chuck昇降：可以快速昇降4MM，並且附帶旋鈕細微調節功能。
	載物台X-Y方向移動控制方式：電機控制，移動行程： 12"-12"，步進精度：0.1μm，往返精度：0.5um，PLIC軟件控制x-y移動。
顯微鏡控制:	在探針台本體的功能設計上增加了顯微鏡的氣動昇降，使在測試過程中更換物鏡和樣品更為方便，避免了會有碰傷樣品和鏡頭的問題。