低溫探針台

產品描述

型	規格
真空腔體規格:	腔體厚度 6mm
	真空度可承受10 -6 mbar~10-9mbar，可升級分子泵達到更高真空.
	機械真空泵抽速8L/S,抽氣法蘭25KF
載物台規格:	採用特製低溫純銅載物台尺寸：2英吋，表面平整度5um。
	特殊的腔體，能保証液氮的流通和緩存。
	載物台集低溫，高溫，溫度信號採集為一體，減少了溫度誤差，提高了溫度的控制精度。
溫度控制系統:	溫度範圍480k~85k（77k為液氮溫度，實際操作中chuck由於熱傳導的損耗存在，無法達到77k，根據液氮循環的時間而定，實際最低溫度不會低於85k）
	溫度控制精度1k,連續變溫無節點
	加熱功率2000w
	PLD調節，數顯控溫系統，溫控器核心，高品質美國原產，運行穩定，精度高