產品介紹:

金屬四探頭電阻率方阻測試儀(HS-MPRT4）是用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。本儀器的特點是主機配置雙數字表，在測量電阻率（電壓表）的同時，另一塊數字表（電流表以千分之二的精度）適時監測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恆流源，使測量電流高度穩定。本機配有恆流源開關，在測量某些箔層材料時，在探頭壓觸樣品后再接通恆流源可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生，更好地保護薄膜。儀器配置了本公司的專利產品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保証了儀器測量電阻率的重複性和準確度。手。