²         用途：主要应用于IC制造及LED芯片制造之显影工序；

²         对象尺寸：2″~8″硅片；

²         运作方式：手动/半自动/全自动

²         由显影槽、IPA/ACE槽、QDR槽及甩干机组成操作台面；

²         电器部分安装在设备顶部，并设有正压保护；PLC控制，触摸屏操作；

²         供液/排液管道集中安装在设备背面，方便保养及维修；

²         排气管道Φ200mm,保证设备使用过程中产生的废气顺利排出;