型号: | 非标 |
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品牌: | CSE |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 其他工业设备 |
标签︰ | 石英坩埚 , 清洗 |
单价: |
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最少订量: | 1 件 |
² 用途:清洗石英坩埚;
² 设备主体结构由清洗机箱体、漏盘、上下喷淋系统、活动托盘、储酸系统、抽风系统、酸液循环系统、石英器皿腐蚀/清洗槽、热风烘干系统、管路部分、PLC+触摸屏电控部分。该设备主体上下分为三部分:上层电器控制系统、后部抽风系统,中层工作区,下层为管道安装维修区、储酸箱、DIW增压泵、缓冲槽、酸液循环泵等;
清洗工序:首先将石英坩埚放入清洗机立式活动台,检查水、电、气正常,活动门封闭,然后启动按钮→进入酸洗程序→进入DIW洗程序→冷风预吹干→热风吹干→冷风预冷却→合格报警→人工用小车将石英坩埚取出清洗机,完成整个清洗工作苏州华林科纳半导体设备技术有限公司 | |
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国家/地区︰ | 江苏省苏州市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 13405135231 |
联系人︰ | 金小璐 (区域经理) |
最后上线︰ | 2009/05/31 |