²         用途：用于取出硅芯表面污染物；

²         清洗对象：各种规格硅芯；

²         运作方式：全自动/半自动/手动；

²         本设备操作台面有酸腐蚀槽、QDR槽、喷淋槽、超声槽、煮沸槽及氮气切水槽组成；

²         电器部分安装在设备顶部，并设有正压保护；PLC控制，触摸屏操作；

²         供液/排液管道集中安装在设备背面，方便保养及维修；

²         排气管道Φ200mm,保证设备使用过程中产生的废气顺利排出。