²         用途：键合bonding（邦定）（包括硅-硅，硅-玻璃等）前清洗与CMP后清洗；

²         清洗对象：2″~8″硅片

²         六槽式上下移动式兆声波清洗机是清洗硅片的专用清洗设备。该设备共有2个兆声清洗槽组成，清洗槽内设有上下移动装置使清洗效果更佳。

²         使硅片表面清洗干净。本机操作为全自动控制、操作简单。

²         设备造型美观大方，清洗效率高，适合大批量生产。

²         该设备元器件采用国内外优质件，性能稳定，使用寿命长。