²         全自动单臂机械手提移，运行平稳、可靠、准确度高；

²         上、下抛动助洗，更有利于硅片快速均匀清洗；

²         逐级高精度过滤，保证洗液干净；

²         即时加热器供应热纯水，结合纯水慢拉，实现硅片快速脱水；

²         隧道净化热风干燥，确保硅片干燥。