型号: | 非标 |
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品牌: | CSE |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 其他工业设备 |
标签︰ | 显影 , 清洗 , 设备 |
单价: |
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最少订量: | 1 件 |
² 用途:主要应用于大尺寸液晶面板之显影工序;
² 可显影玻璃基板尺寸(MAX):1900 mm× 2200 mm,厚度为0.3—1.1 mm;
² 运作方式:全自动;
² 具有封闭的显影工作腔。配备排风系统,避免所用药液挥发对使用人员和环境造成危害;
² 显影液、定影液采用浸润式(puddle)与光刻胶反应。同时设备还需具备喷淋式(spray)显影的能力。浸润式与喷淋式两种显影模式可以相互切换使用,切换过程简单可行。
² 显影系统:设备配备两路显影液供给系统。可以用于不同光刻胶的显影。并能保证这两路显影系统能够交替使用;
² 定影系统:设备配备两路定影供给系统。其中一路定影液供给系统提供Di-Water。另一路定影液供给系统用于提供专用定影液,配备有SUS316L的不锈钢压力罐以及适用于有机溶剂的管路,用于储存和配送定影液
² 对于显影液,具有恒温保护功能,温度控制分辨率达到1 ℃,控温精度达到±1 ℃。
² 具备喷液喷液时间0.1-999.9 s 可连续调解,调节精度为0.1 s;
² 设备具有防溅、废液收集功能。如果采用容器收集废液需配备液面监测器;
² 清洗维护:提供实用且简单易行的显影腔室清洗方案。
苏州华林科纳半导体设备技术有限公司 | |
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国家/地区︰ | 江苏省苏州市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 13405135231 |
联系人︰ | 金小璐 (区域经理) |
最后上线︰ | 2009/05/31 |