氧化鈮靶材高純4~6N 電子玻璃噴塗靶材可定製

型號：	定制型
品牌：	拓吉泰
原產地：	中國
類別：	化工 / 無機原料 / 氧化物
標籤︰	氧化鈮靶材 , 真空鍍膜靶材 , 磁控濺射靶材
單價：	¥40000 / 根
最少訂量：	1 根

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產品描述

噴塗氧化鈮靶材 Spray NbOx Target

產品說明Product description

以等離子體為熱源將Nb2O5粉末加熱到熔融或半熔融狀態並高速衝擊背管表面形成緻密塗層，從而制備出高純度、高緻密度NbOx靶材。

With plasma as heat source, high purity and high density NbOx target is produced from Nb2O5 powder, which is heated to molten or semi-molten state and deposited on the surface of backing tube at high speeds to form dense coatings.

項目 Item	參數 Specifications	檢測手段 Testing method
純度 Purity	≥99.9%
密度 Density	≥4.7 g/cm3	阿基米德密度儀 Archimedes densimeter
雜質含量 Impurities	Ta: ≤200 ppm Si: ≤80 ppm Fe: ≤80 ppm Al: ≤30 ppm W: ≤30 ppm Cu: ≤30 ppm 雜質總和 (Total impurity)：≤1000 ppm	化學分析 Chemical analysis
電阻率 Electrical resistivity	≤0.2 Ω∙cm	四探針電阻率儀 Four probe resistivity meter
建議功率 Recommended power	15 kw/m